池田屋新品ULVAC CR16B空冷多級羅茨干泵

池田屋新品ULVAC CR16B空冷多級羅茨干泵

摘要： 在半導(dǎo)體、電子器件及實(shí)驗(yàn)室的清潔真空應(yīng)用中，結(jié)構(gòu)緊湊且無需水冷氮?dú)獾母墒秸婵毡檬墙档瓦\(yùn)行成本與提升系統(tǒng)靈活性的關(guān)鍵。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發(fā)科）CR16B型空冷多級羅茨干泵，排氣室無油、轉(zhuǎn)子非接觸運(yùn)行，無需冷卻水和軸封氮?dú)?，極限壓力≤3.0 Pa，可選配氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)處理水蒸氣，為load lock、真空干燥及鍍膜設(shè)備的清潔排氣提供了高性價(jià)比的解決方案。

正文：

在半導(dǎo)體鍍膜、Load Lock室抽空、真空干燥及實(shí)驗(yàn)室潔凈氣體排氣等應(yīng)用中，真空泵的可靠性、運(yùn)行成本與安裝便利性直接影響設(shè)備的綜合效率。傳統(tǒng)水冷干泵需要配套冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，且軸封氮?dú)庀脑黾恿碎L期運(yùn)營成本，限制了設(shè)備的小型化與靈活部署。為應(yīng)對這一需求，池田屋引入日本ULVAC CR16B型空冷多級羅茨干泵。

CR16B是ULVAC CR系列中*小排氣量的型號，屬于獲得國際標(biāo)準(zhǔn)（CE、cTUVus）的風(fēng)冷式羅茨型干泵。其核心優(yōu)勢在于排氣室內(nèi)不使用真空油，轉(zhuǎn)子和汽缸為非接觸式結(jié)構(gòu)，可長時間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。該泵采用空冷設(shè)計(jì)，無需冷卻水，也不需要軸封氮?dú)?/span>，顯著降低了運(yùn)行成本與配套設(shè)施的投入。

在核心性能方面，CR16B的最大排氣速度達(dá)16 m3/h（280 L/min），極限壓力≤3.0 Pa。電源支持單相100V、200V及三相200V，電機(jī)額定功率0.72 kW，靈活適配不同供電環(huán)境。吸氣口和排氣口均為KF25標(biāo)準(zhǔn)法蘭，重量僅35kg。

在功能擴(kuò)展方面，CR16B支持選配氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)（針閥或電磁閥+針閥），最大水蒸氣處理量＜300 g/h，可用于真空干燥等水蒸氣排出場景。標(biāo)準(zhǔn)附件包括電源用連接器、信號用連接器、使用說明書、空氣過濾器及護(hù)套。用戶還可選配消音器（RS-01+套件D或EFS-11-NW25/2/2516簡易型消音器）及橡膠腳墊等配件。

在應(yīng)用場景方面，CR16B廣泛適用于空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣，真空干燥等水蒸氣排出（需使用氣鎮(zhèn)），以及濺射、蒸鍍等真空設(shè)備的輔助排氣。

行業(yè)觀察人士指出，在清潔真空應(yīng)用中，無需水冷和氮?dú)獾目绽涓杀谜蔀閷?shí)驗(yàn)室和小型設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)配置。池田屋此次引入的ULVAC CR16B空冷多級羅茨干泵，以其無油無氮設(shè)計(jì)、緊湊輕量結(jié)構(gòu)及低運(yùn)行成本等核心優(yōu)勢，為國內(nèi)半導(dǎo)體、電子器件及實(shí)驗(yàn)室真空應(yīng)用提供了高性價(jià)比的解決方案。

綜合來看，該產(chǎn)品的推廣應(yīng)用，有助于提升清潔真空系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)性與部署靈活性，為科研與先進(jìn)制造提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。