近期我司新品發(fā)布EBARA荏原 單干式真空泵 EV-SA20

近期我司新品發(fā)布EBARA荏原 單干式真空泵 EV-SA20

發(fā)布日期

2026年5月20日

EBARA荏原 單干式真空泵 EV-SA20產(chǎn)品介紹

EBARA（荏原制作所）是的真空泵及流體機械制造商，其干式真空泵技術在半導體、化工、制藥等領域享有盛譽。EV-SA20 屬于荏原單級干式真空泵系列中的一款緊湊型主力機型，核心定位是：提供無油、無水的潔凈真空環(huán)境，并能夠耐受工藝介質(zhì)的腐蝕與顆粒物挑戰(zhàn)。

與傳統(tǒng)的油旋片泵或水環(huán)泵不同，EV-SA20 采用干式壓縮原理——泵腔內(nèi)部無需任何液體作為密封或潤滑介質(zhì)，從而排除了油氣、油霧或水蒸氣對被抽系統(tǒng)或車間環(huán)境的污染。它不是為了取代小型實驗室旋片泵而生，而是面向需要連續(xù)運行、頻繁啟停、介質(zhì)復雜的工業(yè)級應用場景。

核心特性（非參數(shù)化描述）

1. 真正的“干式"與清潔真空
EV-SA20 在整個抽氣路徑中不使用油或水。這意味著：

• 排出的氣體中不含油霧或水汽，無需后處理即可直排大氣。

• 回收的工藝氣體純凈無污染，適用于貴重氣體（如氦氣、氬氣）回收。

• 泵腔內(nèi)無積油、無乳化液問題，常年保持清潔狀態(tài)。

2. 耐受腐蝕性氣體與可凝性蒸氣
標準型 EV-SA20 針對真空鍍膜、分析儀器、干燥工藝中常見的弱酸性氣體、有機溶劑蒸氣等進行了材質(zhì)與間隙優(yōu)化。泵體內(nèi)部關鍵接觸部件采用耐腐蝕涂層或特殊材料，可短暫耐受低濃度酸/堿蒸氣及可凝性氣體。對于高腐蝕應用，荏原提供特殊涂層版本。

3. 處理顆粒物與粉塵的能力
因為無油潤滑，泵腔間隙相對略大，且氣流路徑平滑，細小粉塵或顆粒物（如碳粉、金屬碎屑、催化劑粉末）不易在泵內(nèi)沉積。泵體內(nèi)部設計有專門的顆粒物排出通道，多數(shù)微小顆粒可直接隨排氣吹出，不會卡死轉子。這是油泵或渦旋泵難以做到的。

4. 低運行噪音與低振動
EV-SA20 采用特殊輪廓的螺桿轉子或羅茨轉子（具體構型隨代次不同），動平衡精度高。相比同規(guī)格油泵，其整機噪音更低（尤其在50-60Hz工況下），振動極小，無需專用混凝土基礎，可放置在機臺內(nèi)部或桌面支架上。

5. 簡易維護與長保養(yǎng)周期
由于沒有油品、油過濾器、油霧分離器等耗材，EV-SA20 的日常維護工作量極低。用戶僅需定期：

• 檢查排氣口是否有堵塞。

• 清潔進氣口濾網(wǎng)。

• 若工藝中存在嚴重可凝物，可執(zhí)行“氮氣吹掃"或“溶劑沖洗"再生程序（泵體設計兼容）。
  主要軸承采用長效潤滑脂密封，無需頻繁加注。正常使用下，大修周期遠超油泵。

典型用途與應用場景

1. 半導體與電子制造（非超凈級）

• 封裝設備：固晶機、點膠機中的真空吸附，避免油蒸氣污染引線框架或金線。

• 貼片機 / 分選機：吸嘴用真空源，要求快速響應且無油霧。

• LCD / OLED 維修設備：小型真空腔體抽空，配合檢漏儀器。

2. 分析儀器與科研

• 電子顯微鏡（SEM/TEM）輔助泵：用于樣品交換室或預抽，避免油分子污染主腔體。

• 質(zhì)譜儀前級泵：提供清潔真空，防止油峰干擾質(zhì)譜圖。

• 表面分析（XPS、AES）：同樣要求極低的碳氫化合物殘留。

• 材料研究中的真空干燥、真空脫氣：尤其適用于易氧化粉末或聚合物，避免油霧吸附。

3. 制藥與生物工程

• 冷凍干燥機：作為前級泵配合分子泵，確保凍干艙內(nèi)無油蒸氣，避免藥品污染。

• 離心濃縮儀：抽除有機溶劑蒸氣（如乙腈、甲醇），油泵會因溶劑稀釋而損壞，而 EV-SA20 可耐受。

• 負壓隔離器 / 手套箱再生：用于維持低真空度，同時保證箱內(nèi)環(huán)境純凈。

4. 一般工業(yè)與實驗室輔助

• 真空干燥箱 / 真空烘箱：抽除水汽及低沸點溶劑，無油污染樣品。

• 真空灌封 / 脫泡：環(huán)氧樹脂、硅膠在真空下除去氣泡，EV-SA20 可抽除反應生成的小分子氣體。

• 印刷電路板（PCB）真空壓合機：提供穩(wěn)定粗真空，無油污風險。

• 食品包裝機中的真空 / 氣調(diào)包裝：滿足食品級衛(wèi)生要求（無油）。

與油泵及其他干泵的對比優(yōu)勢

與爪式泵、渦旋泵相比，EV-SA20 在顆粒物耐受和可凝物處理方面更具優(yōu)勢，且結構更簡單、對安裝環(huán)境要求更低。

安裝與使用注意事項（不含參數(shù)）

EV-SA20 在設計上力求“即連即用"。用戶僅需：

• 連接合適的電源電壓（單相或三相，依型號定）。

• 進氣口安裝相應口徑的真空管路，建議加裝粗濾網(wǎng)（如100目）以防止大顆粒異物。

• 排氣口保持通暢，若排至室內(nèi)需確保通風。

• 對于含有大量可凝性蒸氣（如高濃度丙酮）的工藝，建議在進氣口前加裝冷阱，以保護泵內(nèi)部并提高抽速。

泵體具備過熱保護、過載保護，且啟動快速，無需預熱。允許在大氣壓下直接啟動，也可長期連續(xù)運行。

總結

EBARA 荏原 EV-SA20 單干式真空泵是一款面向工業(yè)與高級實驗室的無油、潔凈、耐腐蝕、可處理粉塵的可靠真空獲取設備。它不是追求極限真空度（油泵通常更低）的產(chǎn)品，而是在10? Pa 到 1 Pa 壓力范圍內(nèi)，提供 潔凈無污染、低維護、高可靠性 的真空解決方案。