池田屋現(xiàn)貨！東麗RF-400-01痕量氧分析儀 

池田屋現(xiàn)貨！東麗RF-400-01痕量氧分析儀 

摘要： 在半導體制造、空分及高純氣體檢測等領域，痕量氧濃度的精準測量是保障工藝安全與產品純度的關鍵。池田屋全新引入的日本東麗（TORAY）RF-400-01型痕量氧分析儀，采用高靈敏度電化學傳感器技術，檢測下限低至0.1ppm，支持0-10/0-100/0-1000ppm三檔量程切換，為高純氣體品質管控、惰性氣體純度分析及空分產品監(jiān)測提供了高效、可靠的在線痕量氧檢測解決方案。

正文：

在半導體晶圓制造、高純氣體純化及空氣分離等精密工藝中，痕量氧含量的實時監(jiān)控直接關系到產品良率與工藝安全。在半導體擴散爐、外延生長及氮氣/氬氣純化系統(tǒng)中，殘留氧即使僅為ppm級別，也可能導致晶圓氧化或摻雜失效。傳統(tǒng)氧傳感器在檢測下限、響應速度及長期穩(wěn)定性方面存在局限。為應對這一挑戰(zhàn)，池田屋引入日本東麗（TORAY）RF-400-01型痕量氧分析儀。

RF-400-01由日本東麗（TORAY）研發(fā)制造，是一款基于高靈敏度電化學傳感器的痕量氧分析儀，專為惰性氣體（N?、Ar、He）中的微量氧檢測而優(yōu)化設計。其測量范圍可在0-10ppm、0-100ppm、0-1000ppm三檔間靈活切換，低檢測限達0.1ppm，可滿足半導體級高純氣體（如電子級N?、H?、Ar）中痕量氧的精確測量需求。

在核心性能方面，RF-400-01具備快速響應特性，可實時捕捉氣體中氧濃度的瞬時變化，適用于在線連續(xù)監(jiān)測與間歇采樣兩種模式。傳感器采用電化學測量原理，具有高選擇性和低交叉干擾特性，在惰性氣體背景下仍能保持穩(wěn)定的測量輸出。測量精度為±1%FS（0-10ppm檔） 或±2%FS（0-100/0-1000ppm檔），確保測量數(shù)據(jù)的可靠性。

在結構設計方面，RF-400-01采用壁掛式緊湊設計，便于在設備機柜或生產現(xiàn)場靈活部署。采樣氣體入口壓力需穩(wěn)定在約1bar（若現(xiàn)場采樣壓力異常需加裝限流裝置）。傳感器工作溫度范圍為0至+60℃，適配工業(yè)現(xiàn)場常規(guī)環(huán)境。輸出信號為4-20mA模擬量，便于與PLC、DCS及記錄儀等控制系統(tǒng)無縫集成。

行業(yè)觀察人士指出，在半導體與空分等對氣體純度要求嚴苛的行業(yè)中，痕量氧分析儀器的靈敏度與穩(wěn)定性是保障工藝良率與生產安全的關鍵。池田屋此次引入的東麗RF-400-01痕量氧分析儀，以其0.1ppm高靈敏度、多量程靈活切換及快速響應特性等核心優(yōu)勢，為國內高純氣體檢測與空分監(jiān)測領域提供了可靠的痕量氧測量方案。

綜合來看，該產品的推廣應用，有助于提升半導體制造、高純氣體及空分等行業(yè)的痕量氧檢測精度與響應效率，為產品質量控制與安全生產提供堅實的技術支撐。