池田屋新品ULVAC LS系列螺桿型干式真空泵

池田屋新品ULVAC LS系列螺桿型干式真空泵

摘要： 在半導(dǎo)體鍍膜、濺射及真空干燥等工藝中，兼具高速排氣與低功耗的干式真空泵是提升設(shè)備效率與降低運行成本的關(guān)鍵。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發(fā)科）LS系列螺桿型干式真空泵，通過的螺桿形狀與節(jié)電技術(shù)融合，實現(xiàn)大氣壓附近最大80m3/h的排氣速度與低至0.6kW的極限功耗，提供120至1000m3/h四種抽速型號，為清潔工藝與輕工藝場景提供了高性價比的真空解決方案。

正文：

在半導(dǎo)體鍍膜與濺射、load lock室抽空以及真空干燥、冷凍干燥等工藝中，干式真空泵的排氣速度與能耗直接影響到設(shè)備的生產(chǎn)效率與運營成本。傳統(tǒng)干式真空泵為提升抽速往往需消耗大量電能，且噪音問題突出。為應(yīng)對這一挑戰(zhàn)，池田屋引入日本ULVAC LS系列螺桿型干式真空泵。

LS系列通過的螺桿形狀設(shè)計與ECO-SHOCK節(jié)電技術(shù)的融合，實現(xiàn)了高速排氣與低功耗的兼顧。其大氣壓附近的排氣速度最大可達(dá)80m3/h，相較傳統(tǒng)真空泵排氣時間可縮短約20%。C規(guī)格型號標(biāo)配ECO-SHOCK技術(shù)，極限壓力下的消耗電量可降至0.6kW以下，顯著降低長期運行成本。標(biāo)配專用消音器，極限壓力下噪音值低至61dB(A)，解決了干式真空泵的噪音困擾。

LS系列提供LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A四款型號，最大排氣速度分別為120、380、600、1000m3/h，極限壓力LS120A可達(dá)≤0.6Pa，其他型號可達(dá)≤0.1Pa。用戶可根據(jù)設(shè)備大小與用途選擇最佳排氣容量的泵。該系列無需軸封氣體，以氮氣和空氣排氣為主的清潔工藝可有效降低運行成本。如需進一步提高排氣速度，可搭配機械增壓泵使用，組合排氣速度可達(dá)120～1200m3/h。

在應(yīng)用方面，LS系列提供兩種規(guī)格選擇：C規(guī)格（清潔工藝型） 內(nèi)置ECO-SHOCK低功耗技術(shù)，適用于濺射、鍍膜、load lock室抽空及TMP輔助等空氣和N?排氣場景；L規(guī)格（輕工藝型） 具備表面處理和凈化功能，適用于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣的真空干燥、冷凍干燥、灰化及一般工業(yè)用途。

行業(yè)觀察人士指出，在半導(dǎo)體與工業(yè)制造領(lǐng)域，兼顧高抽速與低能耗的干式真空泵正成為產(chǎn)線升級的重要方向。池田屋此次引入的ULVAC LS系列螺桿型干式真空泵，以其高速排氣、低功耗運行及低噪音設(shè)計等核心優(yōu)勢，為國內(nèi)清潔工藝與輕工藝場景提供了高效節(jié)能的真空解決方案。

綜合來看，該系列產(chǎn)品的推廣應(yīng)用，有助于提升半導(dǎo)體鍍膜、load lock抽空及真空干燥等工藝的排氣效率與能源利用率，為制造與工藝優(yōu)化提供堅實的技術(shù)支撐。