池田屋新品ULVAC HR系列多級羅茨型干泵

池田屋新品ULVAC HR系列多級羅茨型干泵

摘要： 在CVD、刻蝕及ALD等半導(dǎo)體工藝中，副產(chǎn)物氣體在低溫區(qū)域易凝華結(jié)晶，導(dǎo)致真空泵堵塞與性能劣化。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發(fā)科）HR系列多級羅茨型干泵，通過泵體高溫均熱化設(shè)計，將工藝中產(chǎn)生的升華性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出，有效抑制結(jié)晶物附著，為半導(dǎo)體與電子器件制造領(lǐng)域的苛刻工藝提供了高可靠性的真空排氣解決方案。

正文：

在CVD（化學(xué)氣相沉積）、刻蝕及ALD（原子層沉積）等半導(dǎo)體制造工藝中，反應(yīng)副產(chǎn)物氣體在真空泵內(nèi)部的低溫區(qū)域極易發(fā)生凝華結(jié)晶（固化）。這些結(jié)晶物附著在泵內(nèi)壁及轉(zhuǎn)子表面，不僅會降低泵的排氣性能，嚴(yán)重時更會導(dǎo)致泵體卡死停機，是影響設(shè)備稼動率與維護成本的常見難題。為應(yīng)對這一挑戰(zhàn)，池田屋引入日本ULVAC HR系列多級羅茨型干泵。

HR系列的核心優(yōu)勢在于通過高溫區(qū)域的泵體均熱化設(shè)計，使泵體內(nèi)部溫度場均勻分布并維持在一定高溫水平。這一設(shè)計可確保CVD、刻蝕等工藝中產(chǎn)生的升華性排氣物質(zhì)在通過真空泵時始終保持氣態(tài)，有效避免其在泵內(nèi)壁凝華結(jié)晶。對于溫度要求更高的工藝，ULVAC還提供可達到更高溫的UR系列。

在耐腐蝕與密封方面，HR系列對主要零部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理，顯著降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的化學(xué)侵蝕。泵體搭載屏蔽電動機，形成氦氣密封的密閉結(jié)構(gòu)，確保高安全性。產(chǎn)品已采取1000msec以內(nèi)的瞬停對策，有效應(yīng)對電力波動對泵運行的影響。

在規(guī)格方面，HR系列提供HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200五款型號，最大排氣速度覆蓋62至1012m3/h（50Hz），到達壓力HR60/90為5Pa，HR300及以上為0.67Pa。吸氣口提供VG50至VG100（KF50至KF100）多種接口，排氣口為KF40。該系列支持數(shù)據(jù)通信功能，可通過專用軟件讀取泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)數(shù)據(jù)及警告/報警履歷，實現(xiàn)集中監(jiān)控。

在應(yīng)用場景方面，HR系列廣泛適用于CVD裝置、刻蝕裝置、灰化裝置及ALD/ALH等先進薄膜沉積工藝的真空排氣系統(tǒng)。

行業(yè)觀察人士指出，在半導(dǎo)體先進制程中，真空泵對凝華性副產(chǎn)物的處理能力直接關(guān)系到設(shè)備稼動率與維護周期。池田屋此次引入的ULVAC HR系列多級羅茨型干泵，以其泵體高溫均熱化、優(yōu)異耐腐蝕性及瞬停保護與通信監(jiān)控等核心優(yōu)勢，為國內(nèi)半導(dǎo)體與電子器件制造領(lǐng)域的高溫工藝提供了可靠的真空排氣保障。

綜合來看，該系列產(chǎn)品的推廣應(yīng)用，有助于提升CVD、刻蝕及ALD工藝的真空系統(tǒng)可靠性，為半導(dǎo)體先進制程的穩(wěn)定運行提供堅實的技術(shù)支撐。